2011年6月28日 · 通过对传统平行板电容器的静电力分析, 着重研究了横向梳齿间距和驱动电压对边缘效应与静电力的影响,并与Ansoft有限元仿真结果对比。
2015年11月17日 · doi：10．16180／j．cnki．issnl007—780．015．06．09''它a叶姣015年第8卷第6期ElectronicSci．＆Tech．／Jan．15．015真空灭弧室内部电场分布的分析与仿真张洋,庄火庚上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海00093摘要真空灭弧室对于真空断路器的性能有具重要作用,为了了解真空灭弧室内部的电场分布
摘要： 论文选题来自科研实践,在介绍MEMS惯性传感器背景和发展现状和讨论了MEMS系统机械结构动力学机电耦合分析方法的基础上,研究工作主要分为两个部分: 第一名部分介绍了微加速度器的结构设计和工作原理,包括电容式梳齿结构静电驱动及其相关原理,同时对电容式微传感器器件中的各个功能单元和
通过对传 统平 行板电容器 的静 电力分 析, 着重研究了横向梳齿间距和驱动电压对边缘效应 与静 电力的影响, 与 A sf有 限元仿真结 果对 比。
2016年7月3日 · 当两电极间施加驱动电压U时,梳齿结构电场 能E为：E＝虿1cU2一规s（等十等）U2,（2）式（2）中对z方向求导,即可得z方向静电力F。：凡＝差＝adE。＋adE口一挖e（号＋笋）扩,（3）^。瓦5d''d口5舭I丁十≯尸。八＂式（3
其次,根据选定的梳齿结构,分析其受力情况。 主要讨论了卡西米尔力的大小和其对MEMS加速度传感器的影响,确定了卡西米尔力产生影响时的梳齿规格;分析了静电力作用下各种电容器的电容量,边缘效应的近似量和对电容值的影响,确定了边缘效应产生影响时
2022年7月22日 · 在压电驱动结构控制下,接地屏蔽电极末端梳齿 结构在固定感应电极梳齿附近以平行于电场方向周期振动。根据电场边缘效应,随着屏蔽电极和感应电极的相对位置发生变化感应电极上的电场强度发生周期性变化。根据电荷感应原理,感应电极
2020年5月29日 · 平行板电容器动态分析：电容、电压、带电量、场强和电势变化 最高近的文章似乎越来越不受小伙伴欢迎了,是写得不好了吗？首次在 公开自己的专栏汇编,小伙伴们也不感兴趣了,只剩下几个小伙伴和我"相依为命"了。 2024-12-25 说一说平行板电容器的动态分析。
静电梳齿结构横向间隙的边缘效应分析-提出静电驱动梳齿结构横向静电力的边缘效应问题。通过对传统平行板电容器的静电力分析,着重研究了横向梳齿间距和驱动电压对边缘效应与静电力的影响,并与Ansoft有限元仿真结果对比。结果表明：当 大间隙时,梳
2015年3月22日 · 为避免带电Kelvin电容器静电力传统产生方 式下由于保护电极运动以及电容器中电场发散可 能导致产生附加的静电力, 并简化所需精确密机械部 分的设计, 本文提出了一种如图2(b)所示的带电 Kelvin电容器产生静电力的新方式. 在这种新方式
2016年5月25日 · 通过对传统平行板电容器的静电力分析,着重研究了横向梳齿间距和驱动电压对边缘效应 与静电力的影响,并与Ansoft有限元仿真结果对比。结果表明：当大间隙时,梳齿受到的边缘效应不明显,但较大电压时会出现静电力与电压平方的非线性现象
2016年7月3日 · 采用有限元方法 的仿真结果表明,对于不满足平行板电容器简化 计算条件的模型,计及边缘效应的梳状驱动器静 电力计算式具有更高的精确性,实际运用效果良 好。
梳齿电极结构的电容被广泛的应用在微波集成器 件、声表面波器件、压控电容器等领域．近年来,随着传 感技术的快速发展,基于以梳齿电极结构的集成电容式 传感器,因其具有与标准CMOS工艺兼容、灵敏度高、抗
考虑制作工艺和边缘效应的梳齿电容理论 郭占社;冯舟;庄海涵;宋春苗;樊尚春 《哈尔滨工业大学学报》 2010(042)012 为解决梳齿驱动器中理想计算模型误差较大的问题,利用平板电容理论及微积分方法,对制作工艺及边缘效应的影响进行了分析,并建立相应的
2022年8月17日 · 超级电容器电极结构及其结构参数对其内部电场强度及均匀性有直接影响,从而影响电容器漏电流特性和自放电特性.本文利用有限元分析方法,对圆形、方形、条形和梳齿形二维电极及圆柱状、方柱状、条状和梳齿状三维电极的电场进行模拟分析.研究表明:对于相同电极结构,电极间的电场强度随着电极
2014年11月4日 · 另外,带电Kelvin电容器在传统工作方式下的电场分布比较分散, 需要采取较 为细致的屏蔽防护措施, 否则, 在测量过程中会存在因泄露而产生的附加力.
梳齿式电容加速度传感器,顾名思义,活动电极呈梳齿状,又称叉指式电容加速度传感器,是加速度传感器的一种典型结构。 如图1,两侧是梁结构,中央质量块上伸出的长条为悬臂电极（可动电极）,S1、S2为定齿。
而梳齿结构在MEMS器件中有广泛的应用:微谐振器、微机械加速度计、微机械陀螺仪、微镜、微镊、微泵等。所以做为MEMS的重要驱动方式和结构形式,静电驱动梳齿结构MEMS器件的耦合场仿真分析以及优化设计对MEMS的开发具有很重要的意义。
鉴于针对梳齿驱动器的电容检测仿真分析方法的现状,本文提出利用被熟知的能量和电容的关系来对研究对象进行 电容提取。计算过程中首先利用有限元软件计算出在极板施加电压后电容器每一个节点的能量 Ei施加驱动电压后电容器所有节点的能量之和
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