溅射镀膜是制备硅基异质结太阳能电池电极的一个主要工艺环节,实验表明电池在进行溅射镀膜时,如果电池的边缘没有受到隔离保护,镀膜的过程中其边缘存在绕镀现象,导致电池边缘出现漏电流,这样会影响电池的转换效率和组件的可信赖性。
2014年2月26日 · PECVD工序是在硅片表面镀SiNx (或AlOx/a-Si,等),而硅片需要特制的载板将硅片放置在载板上再送入PECVD机台镀膜,这样由于硅片与载板材质和表面形貌都有明显的差异,硅片与载板交接处的镀膜条件与硅片中间的镀膜条件差异较大,导致边缘色差片的
2016年12月14日 · 本实用新型公开了一种用于太阳能电池片镀膜工艺的载板,包括碳纤维板或石墨板(1),在固定规格的碳纤维板或石墨板(1)上设有固定数量的挖空状网格(4),所述的碳纤维板或石墨板(1)上设有一定数量的网格单元(7),或者每个网格单元(7)单独放置在一块分碳纤维
2017年7月3日 · 载板是太阳能电池片镀膜工序中的一个装载工具,主要成分的材质为碳纤维和石墨,其主要由三部分组成（如附图1-3所示）：碳纤维板或石墨板1、石墨导轨条2和碳纤维导轨条3,碳纤维板或石墨板1、石墨导轨条2和碳纤维导轨条3通过螺钉螺母组装固定后
2017年6月13日 · 本专利技术资料公开了一种太阳能电池的镀膜方法及载板,所述方法包括:传送载板在镀膜腔室外装载好硅片；将镀膜载板放置在PECVD设备的i/N/P腔室的加热板进行加热,镀膜载板包括基板,基板上设有与传送载板的承载区域对应的硅片对位槽,还设有与传送载
2023年8月15日 · 摘要：本发明涉及载板技术领域,尤其涉及一种太阳能电池真空镀膜载板,包括载板本体,所述载板本体包括面板、相对设置在所述面板两侧的载板导条、相对设置在所述面板另外两侧的加强筋和开设在所述面板上的若干适于放置硅片的承载区,其中
2023年5月16日 · 一种用于太阳能电池镀膜设备的载板,包括连接在镀膜设备内用于驱动旋转轴转动的驱动马达,所述旋转轴上固定安装有承载盘,还包括：多组设置在所述承载盘上的取料组件；本发明,在对硅片进行镀膜加工时,能够对硅片进行稳定的夹持固定,有效
本发明涉及太阳能电池领域,尤其涉及一种太阳能电池的镀膜方法及载板。 背景技术： 晶体硅太阳能电池具有光电转换效率高,生产技术成熟等优点,一直以来占据着世界太阳能电池总产量的绝大部分,然而传统晶体硅太阳能电池生产中的高温扩散制PN结工艺导致的一系列问题以及缺乏良好的表面钝化机制还没有得到很好地改善,因此限制了电池效率的提升。 太阳能电池由于综合了
2023年1月3日 · 本实用新型公开了一种太阳能电池片真空镀膜载板,包括载板本体；载板本体的上侧面矩阵设置有用于硅片承载的定位槽；载板本体上还设置有加强筋组件；加强筋组件包括对称安装于载板本体两侧端的连接杆,以及安装于载板本体上的加强筋本体
2 天之前 · 专利摘要显示,本申请涉及一种镀膜设备及其掩膜载板,掩膜载板包括多个载料框架,每个载料框架均设有矩形镂空区域以及环绕矩形镂空区域的台阶槽和真空管路,台阶槽具有用于承接硅片的承接面以及贯穿承接面的吸附孔,吸附孔与真空管路相连通,以在真空管路连接真空泵进行抽真空时,吸附
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